液靜壓主軸/轉台/平台
  1. 液靜壓主軸/轉台/平台
(全新)12吋液靜壓晶圓研磨主軸

產品簡介

產品介紹
特色:
       全新玟締科技自行研發製造的高精度液靜壓研磨主軸,採用高剛性液靜壓軸承科技,相較於傳統的滾珠軸承主軸,具有高運動精度、低振動、高剛性、低噪音、優秀阻尼等優勢。面對硬脆晶圓基板的高精度高剛性加工需求,液靜壓研磨主軸提供了高重現性、低熱變位、超高剛性的對應。本公司亦提供完整客製化服務以滿足客戶的各式應用。
       全新開發的XT35000液靜壓12吋晶圓研磨主軸,提供客戶端超高的軸向承載力,對於硬脆材料研磨需求,提供了更高的生產效率,非常適合SiC晶圓研磨減薄加工應用。XT35000液靜壓研磨主軸亦採用進口電機,提供了大功率的輸出、超低的震動,以及可靠的加工壽命。

應用:
       適用於矽晶圓研磨減薄、藍寶石基板、GaAs/GaN晶圓、SiC晶圓研磨減薄、硬脆材料加工。

優點:
       - 液靜壓軸承(Hydrostatic Bearing) 科技
       - 適用12吋(300mm)/10吋(250mm)/8吋(200mm)砂輪盤
       - 可提供客製化砂輪盤介面
       - 內藏式感應馬達科技,超低震動。(可選配高扭力DC馬達對應)
       - 可選配中心出水功能
       - 高精密迴轉精度(Low Error-Motion)
       - 超高剛性/高承載力設計結構
       - 迴轉速度變動量小
       - 優秀阻尼表現