台灣自行研發製造的高精度氣靜壓研磨主軸，採用非接觸式氣靜壓軸承科技，相較於傳統的滾珠軸承主軸，具有高運動精度、低振動、高剛性、低噪音、優秀阻尼及高潔淨度等優勢。面對半導體的高精度加工需求，本氣靜壓研磨主軸在長時間精度維持、重現性保持、低熱變位有著優秀表現。本公司亦提供客製化服務以滿足客戶的各式應用。
應用：
適用於矽晶圓、晶圓再生、矽晶圓研磨減薄、藍寶石基板、GaAs/GaN晶圓、SiC晶圓研磨減薄加工。
優點：
- 空氣靜壓軸承(Aerostatic Bearing) 科技
- 提供8吋跟12吋兩種尺寸選擇
- 可提供客製化砂輪盤介面
- 內藏式永磁同步馬達科技
- 可選配中心出水功能
- 高精密迴轉精度(Low Error-Motion)
- 高剛性/高承載力設計結構
- 迴轉速度變動量小